Web前章までに述べたように,最 新の微細加工に適用される エッチング技術には低電子温度プラズマの実現や,電 子温 度制御の方法が期待されている.こ の課題に対する一つの 対策として,放 電を短周期で間欠的に繰り返すパルスプラ ズマ(ま たはタイムモジュレーションプラズマ)の 検討が なされている21).パルスプラズマ法では,プラズマ生成のた めの電力供給 … WebFig. 1 Schematic diagram of NLD etching apparatus and T e,n e of the plasma. Vol. 53, No. 7, 2010 ―()― 解説 磁気中性線放電（NLD）プラズマによるエッチング技術 林俊雄 1, 2 …
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Webエッチング. 名詞. 1 engraving, etching. 彫刻 や 食刻 をした プレート を 作り 、 図案 を印刷する こと. ( making engraved or etched plates and printing designs from them) 2 … Webこのとき、大気雰囲気下ではアーク放電により約6000℃、大気以外のアルゴンガスや真空下ではスパーク放電により約10000℃となります。 スパーク放電の場合、大気成分の影響を受けにくいため、より良い精度・感度で分析できます。 red flag with legs
どのような理由でCO₂レーザーがガラス製品のマーキングに理想 …
Web用する湿式（ウェット）エッチングに対し，ガスやガスを 放電で励起して発生した活性な原子・分子さらにイオンを 利用する．特に反応性イオンエッチング（ReactiveIon … WebFeb 17, 2024 · この加工にはレーザー加工や放電加工、エッチングといった方法があり、いずれも材料の一部を溶かして形をつくります。 これまでに紹介してきた切削加工や成形加工のように力を加える「動的な加工」ではなく、力以外のエネルギーを用いた「静的な加工」です。 工具が加工物に接触しないため、変形しやすい薄肉部品や精度を要する部品 … WebMay 7, 2024 · 微細加工においては、異方性のドライエッチングが主流 プラズマは電離した気体で、高周波を印加して放電させることで発生させる ドライエッチング装置でシェアが高いのは、アメリカのラムリサーチ・アプライドマテリアルズ、日本の東京エレクトロン 以上です。 エッチングプロセスは、半導体の微細化に欠かせない工程。 新しい技術も … knolls court matlacha